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氧化釩薄膜沉積、 高真空吸氣薄膜沉積、

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無錫尚積是一家國產薄膜沉積工藝和刻蝕工藝設備的生產制造商，專注于國產化率較低的半導體特色細分領域。近年來團隊陸續開發了MEMS領域的氧化釩薄膜沉積、高真空吸氣薄膜沉積；SiCPower領域HotAl，背金金屬濺射和RF領域的濺射等核心技術，打破了國外公司壟斷地位

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無 錫 尚 積 半 導 體 科 技 股 份 有 限 公 司 國 產 薄 膜 沉 積 工 藝 和 刻 蝕 工 藝 設 備 的 生 產 制 造 商 公 司 簡 介 公 司 簡 介 發 展 歷 史 核 心 團 隊 涉 及 業 務 P V D 設 備 P E C V D 設 備 E t c h 設 備 I C P C V D 設 備 服 務 支 持 招 聘 信 息 聯 系 我 們 E N G L I S H M e n u M e n u A d v a n c e d C a p a b i l i t i e s , Y o u r T r u s t e d P a r t n e r 公 司 介 紹 無 錫 尚 積 半 導 體 科 技 股 份 有 限 公 司 是 一 家 專 業 研 發 、 生 產 半 導 體 國 產 自 研 設 備 的 廠 商 ， 主 營 設 備 包 括 金 屬 濺 射 沉 積 ( P V D ) ， 加 強 型 等 離 子 化 學 氣 相 沉 積 ( P E C V D ) ， 等 離 子 干 法 刻 蝕 ( E T C H ) 三 個 領 域 ， 服 務 于 為 全 球 的 功 率 器 件 ( P o w e r D e v i c e ) ， 微 機 電 系 統 ( M E M S ) 、 先 進 封 裝 ( A d v a n c e d P a c k a g i n g ) 、 化 合 物 半 導 體 ( I I I V ) 、 射 頻 ( R F ) 、 集 成 電 路 ( I C ) 客 戶 。 設 備 具 備 優 異 的 重 復 性 和 穩 定 性 、 低 故 障 率 、 長 使 用 壽 命 、 易 操 作 維 修 。 得 到 客 戶 的 廣 泛 認 可 。 尚 積 半 導 體 的 氧 化 釩 ( V O x ) 薄 膜 沉 積 ， R F 領 域 薄 膜 電 阻 關 鍵 工 藝 如 氮 化 鉭 ( T a N ) 等 薄 膜 沉 積 ， T C S A W S i O 2 薄 膜 沉 積 ， 高 真 空 吸 氣 薄 膜 ( G e t t e r ) 沉 積 ， 技 術 參 數 均 超 越 進 口 設 備 ， 在 客 戶 端 已 經 量 產 ， 市 占 率 遙 遙 領 先 。 在 功 率 器 件 市 場 ， 尚 積 半 導 體 正 面 H o t A l 設 備 填 孔 平 坦 化 能 力 優 異 ， 深 寬 比 做 到 3 : 1 ， 超 越 進 口 設 備 ； 背 面 金 屬 濺 射 B S M 性 能 穩 定 ， 產 能 是 進 口 設 備 近 兩 倍 。 特 別 是 在 S i C 領 域 ， 市 占 率 遙 遙 領 先 。 尚 積 半 導 體 在 I C 領 域 積 累 了 二 十 余 年 的 豐 富 經 驗 ， 在 高 深 寬 比 填 孔 、 均 勻 性 優 化 、 應 力 控 制 、 薄 膜 的 多 樣 性 及 復 雜 性 等 多 個 技 術 領 域 有 很 深 的 造 詣 。 尚 積 半 導 體 的 P E C V D 和 E T C H 設 備 在 M E M S 、 R F 、 P o w e r 等 領 域 可 以 替 代 進 口 設 備 ， 并 提 供 更 優 的 工 藝 解 決 方 案 。 價 值 觀 尚 積 — — 尚 德 務 實 ， 積 極 進 取 ! 愿 景 成 為 世 界 一 流 的 半 導 體 真 空 設 備 及 先 進 工 藝 的 整 合 者 。 使 命 專 注 于 半 導 體 細 分 領 域 的 核 心 裝 備 和 關 鍵 工 藝 解 決 方 親 的 研 發 和 推 廣 持 之 以 恒 的 追 求 創 新 與 卓 越 。 發 展 歷 史 2 0 0 8 年 ， 團 隊 進 入 M E M S 領 域 2 0 0 8 年 , 團 隊 進 入 M E M S 領 域 , 開 發 出 氧 化 釩 薄 膜 濺 射 , 打 破 國 外 技 術 壟 斷 , ? 市 占 率 遙 遙 領 先 2 0 1 2 年 , 團 隊 開 發 出 吸 氣 薄 膜 濺 射 2 0 1 2 年 , 團 隊 開 發 出 吸 氣 薄 膜 濺 射 , 打 破 國 外 技 術 壟 斷 , 成 為 該 工 藝 國 內 的 國 產 設 備 供 應 商 , 市 占 率 遙 遙 領 先 . 2 0 1 9 年 , 團 隊 進 入 功 率 器 件 領 域 2 0 1 9 年 , 團 隊 進 入 功 率 器 件 領 域 , 開 發 出 H o t A l 填 孔 工 藝 金 屬 薄 膜 濺 射 , 成 為 該 工 藝 國 內 第 一 家 國 產 設 備 供 應 商 , 市 占 率 遙 遙 領 先 . 2 0 2 0 年 , 團 隊 開 發 出 S i C 背 面 金 屬 薄 膜 濺 射 2 0 2 0 年 , 團 隊 開 發 出 S i C 背 面 金 屬 薄 膜 濺 射 B S M , 成 為 該 工 藝 國 內 第 一 家 國 產 設 備 供 應 商 2 0 2 1 年 , 團 隊 開 發 出 S i 背 面 金 屬 薄 膜 濺 射 2 0 2 1 年 , 團 隊 開 發 出 S i 背 面 金 屬 薄 膜 濺 射 , 成 為 該 工 藝 國 內 少 有 的 國 產 設 備 供 應 商 , 性 能 優 于 國 內 友 商 . 2 0 2 1 年 , 團 隊 開 發 出 R F 領 域 的 T a N L i f t O f f 薄 膜 濺 射 , 成 為 該 工 藝 國 內 少 有 的 國 產 設 備 供 應 商 2 0 2 2 年 , 團 隊 開 發 出 濾 波 器 T C S A W 領 域 2 0 2 2 年 , 團 隊 開 發 出 濾 波 器 T C S A W 領 域 的 H D S i O 2 薄 膜 濺 射 , 成 為 該 工 藝 國 內 少 有 的 國 產 設 備 供 應 商 2 0 2 4 年 , 團 隊 開 發 出 3 0 0 m m P V D 和 C V D 2 0 2 4 年 , 團 隊 開 發 出 3 0 0 m m P V D 和 C V D 核 心 團 隊 尚 積 半 導 體 自 主 培 養 核 心 團 隊 平 均 從 業 年 資 超 過 2 0 年 ， 長 期 深 耕 半 導 體 設 備 行 業 ， 有 海 內 外 工 作 背 景 ， 前 瞻 的 國 際 視 野 及 及 設 備 制 造 的 產 業 鏈 資 源 。 無 錫 尚 積 半 導 體 科 技 股 份 有 限 公 司 江 蘇 省 ， 無 錫 市 新 吳 區 長 江 南 路 3 5 3 1 2 號 廠 房 S a l e s C e l l P h o n e : + 8 6 1 9 5 3 1 2 9 8 6 9 9 S a l e s E m a i l : s a l e s @ s j i s e m i . c o m 關 于 尚 積 公 司 介 紹 發 展 歷 史 核 心 團 隊 涉 及 業 務 P V D 設 備 P E C V D 設 備 E t c h 設 備 I C P C V D 設 備 掃 一 掃 ， 關 注 我 們 C o p y r i g h t ? 2 0 2 3 無 錫 尚 積 半 導 體 科 技 股 份 有 限 公 司 A l l R i g h t s R e s e r v e d . S c r o l l t o t o p

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